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7. Juli 2019 /

Weiterer wichtiger Meilenstein im HIPERDIAS-Projekt erreicht

Das IFSW hat einen weiteren wichtigen Meilenstein im HIPERDIAS-Projekt erreicht, indem es mit einem Scheibenlaser-Multipass-Verstärker bei einer mittleren Leistung von 1 kW auf dem bearbeiteten Werkstück mit Laserpulsen von ~500 fs Dauer Strukturen mit geringer Rauheit (Sa < 1 µm) bei gleichzeitig hoher Abtragsrate (>1 mm3/s) auf Siliziumwafern erzeugt hat.

Das am IFSW entwickelte Lasersystem wurde in eine vom Partner LASEA entwickelte Maschine integriert und in Zusammenarbeit mit dem Partner BOSCH für die erfolgreiche Demonstration der Vereinbarkeit von Präzision und Produktivität beim Siliziumabtragen bei hohen mittleren Laserleistungen im Ultrakurzpulsbereich verwendet. Das bearbeitete Material wurde dabei nicht auf Silizium beschränkt. Auch beim Abtragen von Kupfer, Aluminium und Edelstahl konnten vergleichbare Oberflächenstrukturen erzielt werden.

Kontakt: Daniel Holder

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