Hochpräziser Messaufbau für die Analyse der räumlichen Periodenkonformität optischer Gitter

26. Juli 2023 /

[Bild: IFSW]

Das IFSW hat kürzlich eine Publikation über einen Messaufbau veröffentlicht, der es ermöglicht, die Periode optischer Gitter mit einer sehr hohen Genauigkeit von ± 15 Pikometern (± 0,015 nm) räumlich aufgelöst zu messen und damit die örtliche Variation der Gitterperiode auf einem Substrat (auch bekannt als Periodenchirp) zu bestimmen. Dieser neuartige Aufbau eignet sich hervorragend für die Analyse von Pulskompressionsgittern, bei welchen eine räumliche Variation der Periode von großem Nachteil sein kann. Die Abbildung unten zeigt ein Foto eines Pulskompressionsgitters (links) sowie die räumlich aufgelöst gemessene Periode des Gitters (rechts). Deutlich ist der typische parabolische Anstieg der Periode zum Rand hin zu erkennen, der auf die Herstellung des Gitters mittels Laserinterferenzlithografie (LIL) zurückzuführen ist.

Dieser Aufbau erweitert die Möglichkeiten des IFSW, refraktive und diffraktive optische Komponenten zu charakterisieren. Darüber hinaus kann er zur Kalibrierung lithografischer Aufbauten eingesetzt werden, die mit dem Ziel entwickelt werden, den Periodenchirp zu eliminieren, um räumlich homogene Gitter herstellen zu können.

Weitere Details können in folgender Publikation nachgelesen werden:
Florian Bienert, Christoph Röcker, Thomas Graf, and Marwan Abdou Ahmed, "Simple spatially resolved period measurement of chirped pulse compression gratings," Opt. Express 31, 19392-19403 (2023). https://doi.org/10.1364/OE.489238

Kontakt: Dr. Marwan Abdou Ahmed und M.Sc. Florian Bienert

Foto eines Kompressionsgitters (links) und die räumlich aufgelöst gemessene Gitterperiode des Gitters (rechts).

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